افزایش روزافزون مصرف برق در استان یزد و وجود صنایع بزرگ همچون فولاد آلیاژی و شهرکهای صنعتی باعث گردید طرح احداث نیروگاه حرارتی خورشیدی یزد در کیلومتر 30 جاده خضرآباد جنب شرکت فولاد آلیاژی ایران به وسعت 9 کیلومتر مربع مورد تصویب قرار گرفته و از سال 1374 عملیات اجرایی آن آغاز شد.
فاز اول شامل دمونتاژ 2 واحد گازی 60 مگاواتی کرافت از نیروگاه بعثت تهران و نصب آن در محل نیروگاه یزد بود که عملیات آن در شهریور 1378 خاتمه یافت. فاز دوم شامل نصب و راه اندازی 2 واحد گازی 4/123 مگاواتی GEF9 بود که در تیرماه 1379 به اتمام رسید و مورد بهره برداری قرار گرفت. نصب و راه اندازی بخش بخار مولدهای سیکل ترکیبی بعنوان سومین فاز احداث نیروگاه یزد از سال 1382 آغاز گردید و طبق برنامه در نیمه دوم سال 1385 به بهره برداری رسید.
فاز 4 طرح توسعه نیروگاه حرارتی خورشیدی یزد با قدرت 467 مگاوات از سال 1386 آغاز شد. در این طرح نیروگاه حرارتی خورشیدی (نیروگاه سیکل تلفیقی) شامل دو واحد 159 مگاواتی گازی و یک واحد بخار با ظرفیت 132 مگاوات و مزرعه خورشیدی به ظرفیت 17 مگاوات میباشد که واحدهای گازی در سال 1388 و واحد بخار در پایان سال 1389 در مدار قرار گرفتند و احداث بخش خورشیدی آن در حال اجرا میباشد.